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26일 SKC는 천안에 CMP 패드 공장을 짓는다고 공시했다. 지난 3월 이사회 전원 찬성으로 의결됐다. 투자 규모는 465억원, 기간은 오는 12월까지다.

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CMP(Chemical Mechanical Polishing) 패드는 반도체 웨이퍼 표면을 연마해 평탄화하는 소재다. 반도체 집적도를 높인다. 이 제품은 기술 장벽이 높아, 미국 업체로부터 수급하는 경우가 많았다.

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SKC는 지난 2015년 동성에이엔티로부터 CMP 패드 특허 및 영업권을 인수, 해당 시장에 뛰어들었다. 이후 경기도 안성공장에 생산기지를 마련했다. 이번 투자는 CMP 패드 사업을 확장하는 차원이다.

SKC는 반도체 소재 분야 강화작업을 이어가고 있다. 지난해 430억원을 투입, 천안에 블랭크마스크 공장을 지었다. 블랭크마스크는 반도체 노광공정에 사용되는 포토마스크 원재료다.

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블랭크마스크 시장은 성장세다. 공정 미세화에 따른 마스크 사용량이 증가한 덕분이다. SKC 자체 조사에 따르면 2018년 8000억원에서 오는 2025년 1조3000억원으로 확대될 전망이다. 매년 7% 성장하는 수준이다.

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시장 리더는 일본 업체들이다. 호야, 신에츠 등이 90% 이상을 차지한다. 극자외선(EUV)용은 호야가 독점하고 있다. EUV 공정을 도입한 삼성전자, TSMC 등도 호야의 마스크를 활용하는 것으로 알려졌다. 향후 EUV 활용도가 높아질 예정이어서, 대체 업체가 필수다. 우리나라의 경우 일본 수출규제 이슈가 있던 만큼 국산화가 시급한 분야이기도 했다.

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SKC는 그동안 축적한 기술로 블랭크마스크 사업에 뛰어들었다. 진공증착 기술 및 초청정 무진 관리 경험을 보유하고 있다. SKC는 일반용 제품을 넘어서, EUV용 등 하이엔드급 블랭크마스크 공급에 집중할 방침이다. SKC는 반도체용 슬러리, 웨트케미칼 사업에도 진출한 상태다.

한편 SK그룹은 반도체 수직계열화를 진행하고 있다. 반도체 제조사 SK하이닉스를 지원사격하는 차원이다. SKC를 비롯해 SK실트론, SK머티리얼즈도 반도체 소재를 공급하고 있다.

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SK실트론은 반도체 원재료인 실리콘웨이퍼를 공급하는 업체다. 웨이퍼는 신에츠, 섬코 등 일본 업체가 시장 절반을 차지하는 분야다. SK머티리얼즈는 고순도 불화수소 개발에 성공, 고객사와 최종 테스트를 진행 중이다. 금호석유화학 포토레지스트(감광액) 사업을 인수하기도 했다. 이로써 SK그룹은 웨이퍼, 불화수소, 포토레지스트, 블랭크마스크 등 반도체 핵심소재를 자체 소화할 수 있게 됐다.

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